蘇州昆山潔凈室裝修工程-光學(xué)微電子車間
作者:上海瀾盛凈化工程有限公司 發(fā)布時間:2023-04-10 16:08:17 點擊:1
本次設(shè)計設(shè)計為蘇州昆山微電子有限公司二層潔凈廠房的凈化空調(diào)工程設(shè)計,按照業(yè)主的要求設(shè)計為百級、千級、萬級、十萬級潔凈室。具體潔凈度及溫濕度要求詳見平面圖。施工范圍包括潔凈廠房結(jié)構(gòu)裝修、潔凈空調(diào)通風(fēng)系統(tǒng)、空調(diào)冷凍站、相關(guān)照明空調(diào)插座配電、工藝管道(空壓、真空、純水、冷卻水)等。同時根據(jù)凈化車間設(shè)備要求在局部設(shè)機械排風(fēng)系統(tǒng)。
1.總面積1680平方米,建筑高度為4.6m,大梁高度3.7m,凈化車間吊頂高度為2.6m;
2.無塵房標(biāo)準按靜態(tài)驗收,溫度、相對濕度參數(shù)詳細見下表;
房間名稱 | 潔凈度級別 | 溫度(°c) | 濕度(%) | 面積(㎡) | 送風(fēng)量(m3/h) |
熱壓房 | 萬級 | 23±3 | 55±10 | 678.4 | 50000 |
中清洗房 | 萬級 | ||||
洗網(wǎng)房 | 萬級 | ||||
顯影 脫膜 | 萬級 | ||||
曝光房 | 百級 | 62 | 68000 | ||
貼合間 | 百級 | 38 | 45000 | ||
PI印刷房 | 百級 | 25 | 30000 | ||
PI預(yù)烘房 | 千級 | 47 | 7000 | ||
絲印房 | 千級 | 71.6 | 12000 | ||
定向間 | 千級 | 45 | 6800 | ||
固化房 | 千級 | 36 | 5500 | ||
更衣室 | 十萬級 | 57 | 2500 | ||
投料房 | 十萬級 | 29 | 1500 |
3.玻璃窗距離地面1.1m,空調(diào)車間觀察窗采用5mm白色玻璃;
4.單人雙吹風(fēng)淋室,外尺寸1000*1590*2050.雙人雙吹風(fēng)淋室,外尺寸2000*1590*2050.
6.更衣室衣柜采用不銹鋼支架FFU吹淋衣柜(參考參觀樣式)。
7.潔凈車間金屬壁板墻:50厚金屬壁板(板厚0.426聚苯乙烯夾芯),用于潔凈室內(nèi)隔墻。
8.潔凈室吊頂:
千級、萬級、十萬級及準潔凈區(qū)一次彩鋼板天花吊頂,吊頂高度2.6m;吊頂潔凈板材采用50厚金屬壁板(板厚0.426,手工玻鎂板)。
百級潔凈區(qū):T-GRID龍骨吊頂,吊頂高度2.6m。
二次彩鋼板吊頂(技術(shù)夾層)高度4.2,裸露梁體做環(huán)氧漆處理。
輔助用房吊頂采用烤漆龍骨+硅酸鈣板吊頂,吊頂高度3.2米。
9. 地面:
潔凈室頂面采用自流平環(huán)氧樹脂地面,厚2mm;定向間采用防靜電環(huán)氧地坪,局部車間采用防腐蝕環(huán)氧樹脂地面,百級潔凈車間內(nèi)采用鑄鋁高架地板,架空高度300mm,尺寸為600*600*40。
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