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半導(dǎo)體車(chē)間都是無(wú)塵車(chē)間嗎?

作者:上海瀾盛凈化工程有限公司 發(fā)布時(shí)間:2023-03-27 17:12:10 點(diǎn)擊: 1

半導(dǎo)體車(chē)間都是無(wú)塵車(chē)間嗎?

  半導(dǎo)體車(chē)間是指用于生產(chǎn)半導(dǎo)體元件的工作場(chǎng)所。在半導(dǎo)體生產(chǎn)中,精度、潔凈度和穩(wěn)定性要求都非常高,因此大多數(shù)半導(dǎo)體車(chē)間都是無(wú)塵車(chē)間。無(wú)塵車(chē)間就是指能控制粒子數(shù)量和空氣質(zhì)量,以達(dá)到無(wú)塵、無(wú)菌、無(wú)霉、無(wú)煙霧、無(wú)異味等環(huán)境的場(chǎng)所。無(wú)塵車(chē)間應(yīng)用廣泛,并不僅僅局限在半導(dǎo)體生產(chǎn)領(lǐng)域,例如醫(yī)藥、食品、電子、精密制造等都需要無(wú)塵車(chē)間來(lái)保證產(chǎn)品質(zhì)量。

半導(dǎo)體車(chē)間裝修圖片

  無(wú)塵車(chē)間目標(biāo)是提供合適的環(huán)境條件以使產(chǎn)物在制造和裝配過(guò)程中受污染程度最小化,避免粒子摩擦與靜電在裝置之間的發(fā)生。車(chē)間內(nèi)的空氣應(yīng)保持流暢性,這樣就能夠?qū)⒖諝庋h(huán),以便將死角處的粒子排出室外。 其次,車(chē)間地面應(yīng)平整,以便于清掃,保持干燥,并且防止落下來(lái)的灰塵與雜質(zhì)居留。 除此之外,還有各個(gè)系統(tǒng)的調(diào)節(jié)監(jiān)測(cè),如空調(diào)、過(guò)濾系統(tǒng)、凈化器設(shè)備等。

千級(jí)半導(dǎo)體潔凈車(chē)間圖片

  半導(dǎo)體生產(chǎn)是非常嚴(yán)格的,因?yàn)槿魏挝⑿〉奈廴净螂s質(zhì)都可能造成元件缺陷或失敗。這些微小的顆粒可能來(lái)自于車(chē)間本身或設(shè)備,也可能從外部環(huán)境進(jìn)入,例如空氣或工作人員。 因此,在半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中,必須采取各種措施來(lái)防止粒子和異物的進(jìn)入。

  下面我們將詳細(xì)介紹半導(dǎo)體車(chē)間的無(wú)塵管理方法:

  1.空氣過(guò)濾系統(tǒng) 半導(dǎo)體車(chē)間的首要任務(wù)是減少粒子數(shù)量,這需要在車(chē)間安裝各種空氣過(guò)濾系統(tǒng)??諝膺^(guò)濾器會(huì)在空氣從車(chē)間外面流入時(shí)將大部分顆粒截住,這樣就可以控制粒子的數(shù)量。 濾芯的選擇非常重要。 它們必須能夠捕獲非常小的顆粒,同時(shí)不會(huì)釋放更多的顆粒到空氣中。

  2.工作服和鞋套 工作服是防止工作人員將灰塵和雜物帶入車(chē)間的另一道防線。工作服和鞋套必須經(jīng)過(guò)特殊處理,以保證其自身干凈,不會(huì)釋放粒子。 另外,工作人員還必須定期更換工作服和鞋套。

  3.空氣流動(dòng)和壓力 半導(dǎo)體車(chē)間必須保持一個(gè)適當(dāng)?shù)目諝饬鲃?dòng)和壓力來(lái)控制空氣中的粒子數(shù)量。空氣流動(dòng)必須在車(chē)間內(nèi)產(chǎn)生一個(gè)引導(dǎo)性氣流,以便將顆粒排出車(chē)間。為此,車(chē)間內(nèi)通常會(huì)設(shè)置大型排風(fēng)扇和高效的濾波系統(tǒng)以控制環(huán)境。

  4.地面材料和清潔 車(chē)間地面必須保持平整、無(wú)塵且防滑,以便工作人員安全行走,同時(shí)可以輕松地清理和保持干燥。車(chē)間內(nèi)的每一寸地面都必須經(jīng)常清潔和消毒,以確保微生物和細(xì)菌不會(huì)出現(xiàn)在車(chē)間內(nèi)。

  5.限制進(jìn)出口 半導(dǎo)體車(chē)間通常有非常嚴(yán)格的進(jìn)出口控制程序。通過(guò)限制工作人員和設(shè)備的進(jìn)出,可以控制外部環(huán)境對(duì)車(chē)間環(huán)境的影響。進(jìn)入車(chē)間的人員必須按照特定的程序穿戴工作服和鞋套,而且必須通過(guò)一個(gè)密封門(mén)進(jìn)入,這可以減少外部粒子的進(jìn)入。

  6.工作人員的培訓(xùn) 工作人員是維持半導(dǎo)體車(chē)間無(wú)塵狀態(tài)的關(guān)鍵。因此,他們必須接受專(zhuān)業(yè)的培訓(xùn),了解如何有效地減少顆粒和雜質(zhì)的進(jìn)入,并且必須按照相關(guān)規(guī)定和標(biāo)準(zhǔn)操作車(chē)間。工作人員還必須定期接受衛(wèi)生和安全培訓(xùn)。

半導(dǎo)體無(wú)塵車(chē)間

  總之,半導(dǎo)體車(chē)間的無(wú)塵管理非常重要。只有採(cǎi)用綜合性的精益化管理方法,才能保證半導(dǎo)體元器件的質(zhì)量和穩(wěn)定性。在實(shí)現(xiàn)這些要求的過(guò)程中,公司應(yīng)該重視技術(shù)人員的培訓(xùn),引入先進(jìn)的設(shè)備和技術(shù),加強(qiáng)監(jiān)管并持續(xù)不斷地完善管理體系。


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