電子無塵車間標準以及布局
作者:上海瀾盛凈化工程有限公司 發(fā)布時間:2019-11-28 18:06:36 點擊: 117
電子無塵車間的顯著特點就是占地面積達大,因此在裝修之前要明確該無塵車間的標準和布局知識,電子無塵車間的標準無外乎噪聲級(空態(tài))不應大于65dB(A)、人每小時的新鮮空氣量不小于40每立方等,但是要想達到這些標準,要特別注重設備的布局。
一、電子無塵車間標準
1.電子制造廠萬級潔凈室內的噪聲級(空態(tài)):不應大于65dB(A)
2.電子制造廠潔凈室垂直流潔凈室滿布比不應小于60%,水平單向流潔凈室不應小于40%,否則就是局部單向流了。
3.電子制造廠潔凈室與室外的靜壓差不應小于10Pa,不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應小于5Pa
4.電子制造行業(yè)萬級潔凈室內的新鮮空氣量應取下列二項中的最大值:
5.補償室內排風量和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量之和。
6.保給潔凈室內每人每小時的新鮮空氣量不小于40每立方。
二、電子無塵車間布局
(1)平面由工藝決定,電子工業(yè)潔凈廠房的工藝布局應適應電子產品發(fā)展的靈活性,滿足產品生產工藝改造和擴大生產的需求。
?。?)主體結構宜采用大空間及大跨度柱網,不宜采用內墻承重體系。
(3)大型電子工業(yè)潔凈廠房常采用上技術夾層、下技術夾層這種“夾心”式多層構造。
?。?)應考慮大型生產工藝設備的安裝、維修要求,設置必要的運輸通道和不影響潔凈生產環(huán)境的安裝口或檢修口。
?。?)電子工業(yè)無塵車間按二級耐火等級設計。
(6)特種氣體的儲存和分配間應有耐火隔墻與無塵車間(區(qū))分開,該墻耐火極限不低于1H。有毒的硅烷或其混合物氣瓶存區(qū)至少三面是敞開的,氣瓶與周圍構筑物或圍欄之間的距離應大于3M,儲存區(qū)設置的雨篷應不低于3.5M。
(7)電子工業(yè)無塵車間的裝飾材料不得采用釋放對電子產品有影響物質的材料。
(8)電子工業(yè)無塵車間允許設空氣吹淋室,這是和一般生物無塵車間不同的。吹淋室應與潔凈工作服更衣室相鄰。單人吹淋室按最大班人數為30人一間設計,當工作人員超過5人時,應設旁門,當人數太多或為了縮短通過時間,也可設遂道式吹淋室。
?。?)對于高級別無塵車間,為了盡可能不影響氣流的單向性、平行性,照明燈具采用凈化淚珠形燈具。
?。?0)電子工業(yè)無塵車間常要根據生產工藝要求設置防靜電環(huán)境,以便抑制靜電的產生,將已產生的靜電迅速、安全的排除。
?。?1)電子工業(yè)無塵車間友有對防微振的特殊要求,在廠地環(huán)境上應避開振動源。
?。?2)電子工業(yè)無塵車間除有一般給排水要求外,對超大規(guī)格集成電路的用水也有標準。
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