凈化工程中凈化車間都有哪些標(biāo)準(zhǔn)呢
作者:上海瀾盛凈化工程有限公司 發(fā)布時(shí)間:2020-11-02 20:14:15 點(diǎn)擊: 167
凈化車間屬于工程類一個(gè)比較特殊的行業(yè),從設(shè)計(jì)方案及施工時(shí)間上來講,要不普通建筑工程要稍微短一些。每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下,就達(dá)到了國際凈化標(biāo)準(zhǔn)的A級(jí)。目前應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的凈化標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于A級(jí),這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的千級(jí)別。
凈化工程中的凈化車間都有哪些標(biāo)準(zhǔn)呢
1、凈化車間內(nèi)按照設(shè)計(jì)需要有一個(gè)換氣次數(shù)。
2、十萬級(jí)10-15次/小時(shí)。
3、萬級(jí)15-25次/小時(shí)。
4、千級(jí)50-52次/小時(shí)。
5、百級(jí)操作臺(tái)斷面風(fēng)速0.25-0.35m/s
6、壓差:主車間對(duì)相鄰房間≥5Pa。
7、溫度:冬季>16℃±2℃;夏季<26℃±2℃。
8、相對(duì)濕度:45-65%(RH);噪聲≤65dB(A);新風(fēng)補(bǔ)充量:總送風(fēng)量的20%-30%;照度:≥300Lux。
凈化車間劃分兩個(gè)分類
?。?)工業(yè)凈化車間,以無生命微粒的控制為對(duì)象。主要控制空氣塵埃微粒對(duì)工作對(duì)象的污染,內(nèi)部一般保持正壓狀態(tài)。它適用于精密機(jī)械工業(yè)、電子工業(yè)(半導(dǎo)體、集成電路等)宇航工業(yè)、高純度化學(xué)工業(yè)、原子能工業(yè)、光磁產(chǎn)品工業(yè)(光盤、膠片、磁帶生產(chǎn))LCD(液晶玻璃)、電腦硬盤、電腦磁頭生產(chǎn)等多行業(yè)。
?。?)生物凈化車間,主要控制有生命微粒(細(xì)菌)與無生命微粒(塵埃)對(duì)工作對(duì)象的污染。又可分為;A、 一般生物無塵室,主要控制微生物(細(xì)菌)對(duì)象的污染。